青岛进口真空泵石墨转子生产厂家

青岛进口真空泵石墨转子生产厂家：

跟着真空技术在各个应用范畴的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工安装工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在我国树立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上现已过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵依然有竞赛优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的功能质量问题，确保直联泵在高速、高温下功能稳定和运转可靠，同时还要进一步进步国产直联旋片泵抽除水蒸气的才能。

分子泵在国外半导体范畴里的许多工艺场合是用来替代低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等设备都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。石墨转子属于铝合金熔炼配套设备中的一个部件，铝合金熔炼过程中会产氢气和氧化废渣，要通过精炼除气机将其净化并清除去，石墨转子是精炼除气除渣机的不可缺少的配件之一。石墨转子由转子杆、喷头两部分组成。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。

为了进步抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜设备上应用，既进步了生产效率又改进了膜层质量。跟着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究工作迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的要点。首先，分子泵要从小到大树立完好系列，以满足不同场合的需求。